介紹
電子級六氟乙烷eiectronsc grade iiexar}mrroet}iane C:z幾 別名氟碳its。無色，不可燃氣體。化學性質不活潑，但與可 燃氣體一同燃燒時，分解產生有毒的氟化物二沸點一}s. z}} 熔點一} oo . sr:。其製法是採用活性炭直接氟化工藝路線:C 、F:ana--ono+FF } _匕C",F4 + C:}Fh + C3F} +，一，反應產物經過除 塵、鹼洗、脫水後進人低溫精餾塔進行問歇精餾.提取六氟乙 烷，經低溫吸附提純，可製取純六氟乙烷.、在微電子工業中J目 作等離子刻蝕氣體，器件表面清洗，光纖i}產。低溫製冷劑。
