電子級全氟丙烷

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電子級全氟丙烷electrnn}e grade cn}tafiunr}}prnpane C3F}別名八氟丙烷,氧碳218.,無色、不可燃氣體,化學性 質不活潑,熱穩定性好,但與可燃氣體一起燃燒時分解產生有 毒的氟化物幾沸點36 . 7}',熔點183. U℃其製法是采 用x}性炭直接氟化i_藝,反應產物經除塵、鹼洗、脫水後再進 行間歇精餾,抽出全氟丙烷,經低溫吸附提純,可得到高純全 氟丙烷二在微電子丁_業中用作等離子刻蝕劑,器件表面清洗, 碳}司位素分離f.質,低溫製冷劑,絕緣氣體等.

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