電子級五氟化磷

電子級五氟化磷clcclronir grade phosphorus pentafluo- ride P玩在室溫和大氣壓下是無色、強烈發煙的氣體，帶 有刺激性的臭昧。極易水解，產生的作用和毒性與氟化氫相 似。

介紹

相對密度d,(2U} .空氣= 1)4.4fi。氣體密度5.372k}1 m'( 2UC .101. 3kPa ):液體密度1 fi36k}Ima(一84.50，飽和 壓力)。沸點一84.50。熔點一93.8C'。五氟化磷的製備方 法有幾種，可以採用五氯化磷與三氟化砷反應;或向三氟化磷 中加氟，反應產物經真空蒸餾可製得高純產品五氟化磷在 微電子工業‘}，作為n型摻雜劑。