介紹
電子級乙硼烷elxtronic grade di阮二二場踐在室妞和 大氣壓下是無色氣體，有令人作嘔的氣味二相對密度d,(空氣 一1)D.952,液體密度495詠Im3(14U`C`)，271 kghn' ( 0 C',) 沸點一92.5.'熔點一1b5.5℃。是一種可燃氣體，在空氣‘}， 可燃濃度範圍U.9%一98'9_在竄溫下白燃，不穩定，熱分解可 導致過壓。冷卻到fl℃以下，與氫,氛,氦或氮混合後穩定。乙 硼烷劇毒。'I'LV D.1mglm-'(D.1 X 1U-0)。將硼氫化鈉與碘在 I}溶液·}，進行反應，製得粗乙硼烷，經冷凝、吸附純化可得到 高純乙硼烷產品自乙硼烷在半導體一r SfY中用作矽和鍺外延，擴 散和離子注人過程的p型雜質摻雜源。其他套用包括與氨反 應製備氮化硼;可作為聚合反應的催化劑.、
