介紹電子級三氟化磷elcxtr}nic grade phn}phorus tnflunride Y1~;常溫下為無色、不可燃氣體，遇濕氣會分解，與水及鹼 溶液迅速反應，可一與血液中的血}I蛋白生成化合物，毒性極 大.TLV1 x 1U-6二氣體密度3 . yil7kg Im='。沸點一1U1.1C 熔點一151 .5}',。其製法是採用三氯化磷與氟化氫反應，反應 產物經冷卻問流收集.進一步進行真空蒸餾，可製得高純產 品。二氟化磷在微電子工業中作為n型摻雜劑
