電子純

高純試劑的一種分類，主要是針對的是電子元件中使用的化學試劑，又稱超淨高純試劑，最重要的特點就是金屬含量極低。

基本介紹

• 中文名：電子純
• 定義：電子元件中使用的化學試劑
• 用途：純度和潔淨度對積體電路的成品率
• 特點：超淨高純試劑具有品種多

定義

高純試劑的一種分類，主要是針對的是電子元件中使用的化學試劑，又稱超淨高純試劑，最重要的特點就是金屬含量極低。

用途

用於矽片清洗,光刻,腐蝕工序，其純度和潔淨度對積體電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。

特點

超淨高純試劑具有品種多、用量大、技術要求高、貯存有效期短和強腐蝕性等特點。

分級

國際半導體工業協會(SemiconductorIndustryAssociation)推出Semic7(適合0.8-1.2微米工藝技術)和Semic8(適合於0.2-0.6微米工藝技術)級別的試劑質量標準。

我國在原有的MOS級和BV-1級的基礎上，又陸續推出BV-2,BV-3等規格