電子特氣氟甲烷

國家標準《電子特氣 六氟丁二烯》 由TC203（全國半導體設備和材料標準化技術委員會）歸口，TC203SC1（全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會）執行 ，主管部門為國家標準化管理委員會。

2021年8月20日，《電子特氣 六氟丁二烯》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2022年3月1日實施。

基本介紹

• 中文名：電子特氣 六氟丁二烯
• 頒布時間：2021年8月20日
• 實施時間：2022年3月1日
• 發布單位：國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會

修訂信息

2021年8月20日，《電子特氣 六氟丁二烯》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2022年3月1日實施。

起草工作

主要起草單位 浙江省化工研究院有限公司 、中船重工（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司 、昊華氣體有限公司 、中化藍天氟材料有限公司 、衢州氟矽技術研究院 、福建久策氣體股份有限公司 、廣東華特氣體股份有限公司 、天津綠菱氣體有限公司 、江西華特電子化學品有限公司 、蘇州金宏氣體股份有限公司 、上海申南特種氣體有限公司 、上海華愛色譜分析技術有限公司 、大連大特氣體有限公司 、上海凡偉儀器設備有限公司 、聯雄投資(上海)有限公司 、瀋陽中復科金壓力容器有限公司 、浙江東開半導體科技有限公司 、和立氣體（上海）有限公司 、昆明廣瑞達特種氣體有限責任公司 、西南化工研究設計院有限公司 、西南化工研究設計院有限公司武漢分公司 、西南化工研究設計院有限公司雙流分公司 。

主要起草人 史婉君 、張建君 、李翔宇 、郭君 、付夢月 、侯玲玲 、褚人財 、李霞 、譚慧 、何經余 、曹素英 、傅鑄紅 、陳艷珊 、馬建修 、曹小林 、楊俊豪 、王新喜 、孫猛 、陳潔 、吳靚 、方華 、於慶偉 、何波 、唐中偉 、黃輝 、宮兵 、王大為 、易達文 、李陽 、梁永強 、梁成科 、高靜 、吳克安 、白占旗 、鬲春利 、譚依玲 、徐龍 、曹元洪 、周鵬雲 、陳凱 。