電子束讀寫成像系統

電子束讀寫成像系統是一種用於材料科學領域的計量儀器，於2018年6月7日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子束讀寫成像系統
• 產地：捷克
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年6月7日
• 所屬類別：計量儀器 > 電磁學計量儀器 > 100kHz以下交流電流國家基準

技術指標

①放大倍率：2-1000K；②電子束能量強度可調200v-30Kv；③樣品台五軸自動旋轉；④內部尺寸：230mm（內部直徑）148mm門寬；⑤解析度：3nm（30kv），8nm（3kv）⑥包含電子束曝光系統（EBL）⑦含背散射，二次電子。

主要功能

固體材料微觀表面形貌觀測；微納圖形讀寫與刻蝕。該電子束讀寫成像系統可以滿足不同形狀與尺寸的異質結微納器件的讀寫成像，有效輔助異質結微納器件的製備。