電子探針微分析儀

電子探針微分析儀是一種用於地球科學領域的分析儀器，於2013年11月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子探針微分析儀
• 產地：日本
• 學科領域：地球科學
• 啟用日期：2013年11月27日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

電子束加速電壓0.1-30kV,電流10-12~10-6A；背散射電子圖像解析度小於20nm（15kV）；真空系統樣品倉1*10-3Pa；RAP/LSA70/PbST/LSA120/LiF/PET/ADP分光晶體4道8塊；X射線角52.5度。

主要功能

1、分析元素範圍5B-92U；2、能譜定性定量、點面分析；3、波譜定性定量、點線面分析。