電介質納米薄膜導熱係數的分子動力學模擬

《電介質納米薄膜導熱係數的分子動力學模擬》是依託清華大學,由李志信擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:電介質納米薄膜導熱係數的分子動力學模擬
  • 依託單位:清華大學
  • 項目負責人:李志信
  • 項目類別:面上項目
  • 批准號:50176023
  • 申請代碼:E0603
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2002-01-01 至 2004-12-31
  • 支持經費:22(萬元)
項目摘要
用分子動力學方法模擬電介質納米薄膜的導熱係數,探討納米尺度下電介質(矽)薄膜導熱係數的尺寸效應,從分子的尺度研究納米尺度薄膜導熱的物理機制以及載熱粒子的平均自由程與薄膜尺度相當時量子效應對熱量傳輸的影響,該研究可為目前無法實驗測量的矽納米薄膜的導熱係數提供可靠的數值預報方法,為微矽器件的熱分析和熱設計提供物性參數。

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