書籍信息,內容簡介,圖書目錄,
書籍信息
書名 雷射電漿極紫外光刻光源
書號 978-7-118-11793-6
作者 竇銀萍，宋曉偉，陶海岩
出版時間 2018年12月
譯者
版次 1版1次
開本 32
裝幀 平裝
出版基金
頁數 122
字數 104
中圖分類 TN305.7
叢書名
定價 79.00
內容簡介
本書首先介紹了用於光刻的雷射電漿極紫外光源的國內外發展現狀，並系統地闡述了雷射電漿光源的相關理論。其次介紹了用於6.7nm光源探測的平像場光柵光譜儀的設計、搭建及標定。最後，詳細介紹了工作波長6.7 nm極紫外光源離子碎屑特性及其阻擋的實驗研究結果。本書可作為光學、微電子等專業本科生的參考教材，也可作為雷射與物質相互作用、雷射電漿、極紫外光刻技術、極紫外光輻射電子光譜術等領域的研究生、專業研究人員以及相關技術人員的參考用書。
圖書目錄
第1章緒論1
1.1引言1
1.2極紫外光刻光源的產生方式5
1.2.1同步輻射光源5
1.2.2氣體放電電漿源5
1.2.3雷射電漿源6
1.3雷射電漿極紫外光源的研究概況8
1.3.113.5 nm工作波長極紫外光源轉化效率的研究8
1.3.213.5 nm工作波長極紫外光源碎屑有效減緩的研究11
1.4極紫外光源的國內研究進展13
1.56.7 nm極紫外光刻光源研究進展14
1.66.7 nm極紫外光源研究意義18
1.7小結19
第2章雷射電漿的物理特性20
2.1電漿的產生方式20
2.2雷射電漿的膨脹過程21
2.2.1雷射電漿等溫膨脹過程的特性方程23
2.2.2雷射電漿絕熱膨脹過程的特性方程25
2.3雷射電漿電子密度和電子溫度光譜法診斷26
2.4雷射電漿光譜輻射機制30
2.5電漿中碎屑產生的物理機制31
2.6雙脈衝雷射打靶機制33
2.7小結36
第3章極紫外平場光柵光譜儀的設計、調試和標定37
3.1引言37
1.1引言1
1.2極紫外光刻光源的產生方式5
1.2.1同步輻射光源5
1.2.2氣體放電電漿源5
1.2.3雷射電漿源6
1.3雷射電漿極紫外光源的研究概況8
1.3.113.5 nm工作波長極紫外光源轉化效率的研究8
1.3.213.5 nm工作波長極紫外光源碎屑有效減緩的研究11
1.4極紫外光源的國內研究進展13
1.56.7 nm極紫外光刻光源研究進展14
1.66.7 nm極紫外光源研究意義18
1.7小結19
第2章雷射電漿的物理特性20
2.1電漿的產生方式20
2.2雷射電漿的膨脹過程21
2.2.1雷射電漿等溫膨脹過程的特性方程23
2.2.2雷射電漿絕熱膨脹過程的特性方程25
2.3雷射電漿電子密度和電子溫度光譜法診斷26
2.4雷射電漿光譜輻射機制30
2.5電漿中碎屑產生的物理機制31
2.6雙脈衝雷射打靶機制33
2.7小結36
第3章極紫外平場光柵光譜儀的設計、調試和標定37
3.1引言37
3.2極紫外平場光柵光譜儀設計37
3.2.1使用平場光譜儀的必要性37
3.2.2平場光譜儀的設計38
3.3平場光譜儀的準直、安裝調試和檢驗40
3.3.1飛秒雷射高次諧波產生的實驗裝置40
3.3.2平場光譜儀光路的準直42
3.3.3平場光譜儀的安裝調試和檢驗43
3.4平場光譜儀的標定43
3.4.1飛秒雷射高次諧波法標定43
3.4.2元素吸收邊法標定46
3.4.3Si離子線譜法標定49
3.5小結51
第4章Gd靶雷射電漿的極紫外輻射光譜特性53
4.1引言53
4.2Gd靶雷射電漿光源光譜輻射影響54
4.2.1Gd靶雷射電漿的極紫外光譜特性54
4.2.2實驗裝置54
4.2.3Gd靶實驗結果與分析56
4.3預電漿條件下Gd靶電漿的
極紫外光譜特性61
4.3.1實驗裝置61
4.3.2實驗結果與分析62
4.4收集方向對極紫外輻射光譜特性的影響63
4.5Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶電漿的
極紫外光譜特性65
4.6Gd靶雷射電漿離帶熱輻射特性69
4.7小結72
第5章Gd靶光源電漿演化特性73
3.2.1使用平場光譜儀的必要性37
3.2.2平場光譜儀的設計38
3.3平場光譜儀的準直、安裝調試和檢驗40
3.3.1飛秒雷射高次諧波產生的實驗裝置40
3.3.2平場光譜儀光路的準直42
3.3.3平場光譜儀的安裝調試和檢驗43
3.4平場光譜儀的標定43
3.4.1飛秒雷射高次諧波法標定43
3.4.2元素吸收邊法標定46
3.4.3Si離子線譜法標定49
3.5小結51
第4章Gd靶雷射電漿的極紫外輻射光譜特性53
4.1引言53
4.2Gd靶雷射電漿光源光譜輻射影響54
4.2.1Gd靶雷射電漿的極紫外光譜特性54
4.2.2實驗裝置54
4.2.3Gd靶實驗結果與分析56
4.3預電漿條件下Gd靶電漿的
極紫外光譜特性61
4.3.1實驗裝置61
4.3.2實驗結果與分析62
4.4收集方向對極紫外輻射光譜特性的影響63
4.5Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶電漿的
極紫外光譜特性65
4.6Gd靶雷射電漿離帶熱輻射特性69
4.7小結72
第5章Gd靶光源電漿演化特性73
5.1引言73
5.2實驗裝置及方法74
5.3Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶雷射電漿
時間演化特性75
5.4Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶雷射電漿
空間演化特性78
5.5小結81
第6章Gd靶雷射電漿光源碎屑 動力學特性及其減緩方法82
6.1引言82
6.2雷射電漿光源碎屑動力學特性83
6.2.1飛行時間法探測光源離子碎屑83
6.2.2飛行時間法測量離子速度的實驗裝置84
6.2.36.7 nm光源離子碎屑動力學特性85
6.3緩衝氣體對雷射電漿極紫外光源碎屑的減緩87
6.3.1緩衝氣體中6.7 nm輻射光傳輸特性87
6.3.2不同緩衝氣體壓強下Gd離子投射距離模擬88
6.3.3氦、氬等緩衝氣體阻擋6.7 nm光源碎屑的
效果研究89
6.4外加磁場對光源碎屑的減緩91
6.5雙脈衝雷射打靶對光源碎屑的減緩95
6.5.1實驗裝置95
6.5.2實驗結果與討論96
6.6緩衝氣體和雙脈衝聯合作用對光源碎屑的減緩100
6.7減緩碎屑方法對比總結101
6.8小結102
參考文獻104
5.2實驗裝置及方法74
5.3Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶雷射電漿
時間演化特性75
5.4Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶雷射電漿
空間演化特性78
5.5小結81
第6章Gd靶雷射電漿光源碎屑 動力學特性及其減緩方法82
6.1引言82
6.2雷射電漿光源碎屑動力學特性83
6.2.1飛行時間法探測光源離子碎屑83
6.2.2飛行時間法測量離子速度的實驗裝置84
6.2.36.7 nm光源離子碎屑動力學特性85
6.3緩衝氣體對雷射電漿極紫外光源碎屑的減緩87
6.3.1緩衝氣體中6.7 nm輻射光傳輸特性87
6.3.2不同緩衝氣體壓強下Gd離子投射距離模擬88
6.3.3氦、氬等緩衝氣體阻擋6.7 nm光源碎屑的
效果研究89
6.4外加磁場對光源碎屑的減緩91
6.5雙脈衝雷射打靶對光源碎屑的減緩95
6.5.1實驗裝置95
6.5.2實驗結果與討論96
6.6緩衝氣體和雙脈衝聯合作用對光源碎屑的減緩100
6.7減緩碎屑方法對比總結101
6.8小結102
參考文獻104
