中文名稱 | 雷射退火 |
英文名稱 | laser annealing |
定 義 | 利用雷射對材料進行退火處理的加工方法。 |
套用學科 | 機械工程(一級學科),光學儀器(二級學科),雷射器件和雷射設備-雷射套用(三級學科) |
中文名稱 | 雷射退火 |
英文名稱 | laser annealing |
定 義 | 利用雷射對材料進行退火處理的加工方法。 |
套用學科 | 機械工程(一級學科),光學儀器(二級學科),雷射器件和雷射設備-雷射套用(三級學科) |
快速熱退火是用各種熱輻照源,直接照射在樣品表面上,迅速將樣品加熱至700~1200℃左右在幾秒~幾十秒的時間內完成退火。它與常規熱退火相比,有下列優點:樣品在相同...
中文名稱 雷射退火 英文名稱 laser annealing 定義 利用雷射對材料進行退火處理的加工方法。 套用學科 機械工程(一級學科),光學儀器(二級學科),雷射器件和雷射...
將雷射照射到材料表面。用以去除或熔化材料,或改變材料的表面性能,從而達到加工的目的。...
低於玻璃基板可以承受的溫度,一般都在450℃以下,這種溫度製程之下沉積的矽薄膜,只能形成結構散亂而充滿缺陷的非晶矽,如果想要形成多晶矽薄膜,便須要利用雷射退火的制...