雷射束感光樹脂

雷射束感光樹脂。指以雷射束為光源的光樹脂分為可見光和紫外光兩種雷射束感光樹脂,雷射束加藝的可控性好,光強度高,用於該光刻工藝的光樹脂與普通的可見光和紫外光感光樹脂基本相同。

基本介紹

  • 中文名:雷射束感光樹脂
常見的包括重氮光交聯型樹脂、光爽合型樹脂和銀鹽擴散型複合樹脂等.廣泛用於印刷製版尖用雷射後光輸出功率加人。光刻時間縮短。

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