雷射捕捉微粒子實現微細加工的研究

雷射捕捉微粒子實現微細加工的研究

《雷射捕捉微粒子實現微細加工的研究》是依託浙江大學,由白劍擔任項目負責人的青年科學基金項目。

基本介紹

  • 中文名:雷射捕捉微粒子實現微細加工的研究
  • 依託單位:浙江大學
  • 項目負責人:白劍
  • 項目類別:青年科學基金項目
  • 批准號:60106005
  • 申請代碼:F0406
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2002-01-01 至 2002-12-31
  • 支持經費:6(萬元)
項目摘要
雷射捕捉微粒子實現微細加工是一種精度高於離子或電子雷射束加工的新型微細加工方法。它利用高倍顯微物鏡所聚合的雷射在高強度粒子表面所產生的放射壓使雷射能驅動這些粒子在被加工表面產生移動,高速轉動及振動。以這些被捕捉的粒子為工具,在加工表面反覆運動能完成微米乃至納米級的加工任務。該技術能使我國微細加工達到國際先進水平。....

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