零層對準

一種用於介質基片上光刻圖形的零層對準標記結構，為設定在介質基片邊緣的直角型縱向通孔。

基本介紹

• 中文名：零層對準
• 外文名：zero level alignment

該介質基片零層對準標記結構可以為一個直角三角形、一個長方形、一個直角梯形，零層對準標記結構所在的介質基片材料包括：純度99.6%以上的氧化鋁陶瓷、藍寶石，介質基片厚度為：0.1mm～0.65mm。採用本對準標記結構，不但可確保在含微小陣列金屬化通孔的介質基片上光刻薄膜電阻和金屬導帶圖形的對準精度，而且還能提高微波薄膜積體電路的成品率。