離線薄膜應力測試設備

離線薄膜應力測試設備是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2018年10月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：離線薄膜應力測試設備
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2018年10月20日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

1、 XY雙向程式控制掃描平台掃描範圍：200mm，掃描速度最大20mm/s（x,y），XY雙向掃描平台掃描最小解析度2μm，最大掃描速度20mm/sec； 2、 曲率半徑解析度優於50km，平均曲率解析度優於2×10-5 (1/m)； 3、 薄膜應力測量範圍：5×104Pa to 4×109Pa； 4、 測量重複性：優於0.1%； 5、 平均曲率重複性：＜2×10-5 1/m； 6、 測量精度：優於±0.1%或0.1MPa； 7、 程式化控制掃描模式：選定區域單線掃描、選定區域多點線性掃描、全面積掃描； 8、 樣品表面全面積或選定區域Mapping功能：YX方向獨立2D曲率Mapping成像，XY方向獨立2D應力Mapping成像，整體定量薄膜應力成像分析； 9、 測量功能：曲率、曲率半徑、應力和翹曲等。

主要功能

離線工作方式的薄膜應力測試儀採用非接觸MOS雷射技術；不但可以精確的對樣品表面應力分布進行統計分析，而且還可以進行樣品表面二維應力、曲率成像分析；並且這種設計始終保證所有陣列的雷射光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結果的影響；同時大大提高了測試的解析度；適合各種材質和厚度薄膜應力分析。