離子束輔助沉積類金剛石等硬質膜研究

離子束輔助沉積類金剛石等硬質膜研究是由清華大學材料科學與工程系完成的科技成果，登記於1996年10月31日。

基本介紹

• 中文名：離子束輔助沉積類金剛石等硬質膜研究
• 類別：科技成果
• 完成單位：清華大學材料科學與工程系
• 登記時間：1996年10月31日

成果信息

成果名稱	離子束輔助沉積類金剛石等硬質膜研究
成果完成單位	清華大學材料科學與工程系
批准登記單位	北京市科學技術委員會
登記日期	1996-10-31
成果登記年份	1996