《離子束表面工程技術與套用》是2005年機械工業出版社出版的圖書，作者是張通和，吳瑜光。
基本介紹
- 書名：離子束表面工程技術與套用
- 作者：張通和，吳瑜光
- ISBN：9787111169772
- 類別：圖書 > 科技 > 金屬學與金屬工藝
- 頁數：399頁
- 出版社：機械工業出版社
- 出版時間：2005-10-01
- 裝幀：平裝
- 開本：16開
- 叢書名：表面工程實用技術叢書
內容簡介,目錄,
內容簡介
《離子束表面工程技術與套用》內容系統全面，實用性強。內容主要包括離子束注入技術、離子束增強沉積技術、磁過濾離子束沉積技術、全方位離子注入技術、強脈衝離子束材料改性技術和離子束創建新型制膜工程等，著重給出了這些離子束技術的最新研究成果及其在工業上的廣泛套用情況。
目錄
前言
第1章 離子束表面工程技術概述
1.1 離子束表面工程技術原理
1.2 離子束注入的特點和局限性
1.3 離子束表面工程技術的發展概況
第2章 離子束注入技術
2.1 離子束注入技術簡介
2.2 非金屬離子注入
2.3 金屬離子注入
2.4 離子注入WC合金鋼
2.5 離子注入改善TiN和TiC沉積膜特性
2.6 長程離子注入
2.7 雙注入
2.8 共注入
2.9 離子注入材料的性能改善
2.10 離子注入工業套用
第3章 離子束增強沉積技術
3.1 簡介
3.2 金屬膜的製備和特性
3.3 超硬陶瓷膜
3.4 類金剛石膜
3.5 固體滑潤膜
3.6 光學膜
3.7 c-BN膜的製備和特性
3.8 β-C3N4膜
3.9 離子增強沉積的工業套用
第4章 磁過濾離子束沉積技術
4.1 簡介
4.2 磁過濾離子束金剛石薄膜沉積的套用
4.3 Ti沉積改善H13鋼抗腐蝕性能
4.4 Ti+C+N共沉積膜的製備及其性能改善
4.5 聚合物表面沉積
4.6 Mo+C和Ti+C共沉積MoC膜和TiC膜工藝和特性
4.7 Ti+Fe+C三元共沉積膜的特性
4.8 靶加熱NbN沉積膜的特性
4.9 高壓負脈衝沉積薄膜的特性
4.10 超厚膜的形成
4.11 離子束沉積
4.12 降低膜的內應力途徑
4.13 增強膜與基體粘合強度的途徑
4.14 DLC膜的製備、特性和套用
4.15 磁過濾制膜特性和套用綜述
第5章 全方位離子注入技術
第6章 強脈衝離子束材料改性技術
第7章 離子束創建新型制膜工程
第8章 離子束技術發展展望
參考文獻
第1章 離子束表面工程技術概述
1.1 離子束表面工程技術原理
1.2 離子束注入的特點和局限性
1.3 離子束表面工程技術的發展概況
第2章 離子束注入技術
2.1 離子束注入技術簡介
2.2 非金屬離子注入
2.3 金屬離子注入
2.4 離子注入WC合金鋼
2.5 離子注入改善TiN和TiC沉積膜特性
2.6 長程離子注入
2.7 雙注入
2.8 共注入
2.9 離子注入材料的性能改善
2.10 離子注入工業套用
第3章 離子束增強沉積技術
3.1 簡介
3.2 金屬膜的製備和特性
3.3 超硬陶瓷膜
3.4 類金剛石膜
3.5 固體滑潤膜
3.6 光學膜
3.7 c-BN膜的製備和特性
3.8 β-C3N4膜
3.9 離子增強沉積的工業套用
第4章 磁過濾離子束沉積技術
4.1 簡介
4.2 磁過濾離子束金剛石薄膜沉積的套用
4.3 Ti沉積改善H13鋼抗腐蝕性能
4.4 Ti+C+N共沉積膜的製備及其性能改善
4.5 聚合物表面沉積
4.6 Mo+C和Ti+C共沉積MoC膜和TiC膜工藝和特性
4.7 Ti+Fe+C三元共沉積膜的特性
4.8 靶加熱NbN沉積膜的特性
4.9 高壓負脈衝沉積薄膜的特性
4.10 超厚膜的形成
4.11 離子束沉積
4.12 降低膜的內應力途徑
4.13 增強膜與基體粘合強度的途徑
4.14 DLC膜的製備、特性和套用
4.15 磁過濾制膜特性和套用綜述
第5章 全方位離子注入技術
第6章 強脈衝離子束材料改性技術
第7章 離子束創建新型制膜工程
第8章 離子束技術發展展望
參考文獻
