中文名稱 | 離子束摻雜 |
英文名稱 | ion beam doping |
定 義 | 把某種元素的離子,強制注入固體表面獲得均勻的一種半導體摻雜方法。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),表面改性和塗層技術(四級學科) |
中文名稱 | 離子束摻雜 |
英文名稱 | ion beam doping |
定 義 | 把某種元素的離子,強制注入固體表面獲得均勻的一種半導體摻雜方法。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),表面改性和塗層技術(四級學科) |