離子束摻雜

中文名稱離子束摻雜
英文名稱ion beam doping
定  義把某種元素的離子,強制注入固體表面獲得均勻的一種半導體摻雜方法。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),表面改性和塗層技術(四級學科)

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