《離子束、團簇離子束納米表面加工及其套用》是依託北京大學，由趙子強擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：離子束、團簇離子束納米表面加工及其套用
- 依託單位：北京大學
- 項目負責人：趙子強
- 項目類別：面上項目
- 負責人職稱：研究員
- 批准號：10475005
- 申請代碼：A3001
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費：33（萬元）
項目摘要
離子束納米表面加工技術是產生微結構十分重要的手段，利用重離子在聚合物中的離子徑跡，並在化學溶液中腐蝕出一系列納米孔洞，可以通過直接利用離子束刻蝕聚合物的徑跡或者利用離子束光刻技術得到用於不同目的的納米結構。本項目通過對離子束、團簇離子束在聚合物中的刻蝕機制的研究，探索離子束在納米加工領域的潛在套用，包括兩方面：（一）利用300keV～3MeV的離子束對聚合物進行表面的納米加工，可以得到直徑小於100nm、長0.1～5μm的納米聚合物陣列，這樣的表面具有疏水疏油等自清潔特性；（二）利用MeV的重離子刻蝕覆蓋在金屬、玻璃、半導體上的聚合物，要求穿透聚合物材料，得到納米眼膜，然後利用離子束刻蝕平版印刷的方法在金屬、玻璃及半導形成納米界面，以往的研究表明團簇離子有著很大的能量沉積密度，利用團簇離子束刻蝕可以在聚合物中產生更大的損傷徑跡，從而提高刻蝕效率。
