離子散射能譜

離子散射能譜icm acatterm} spectrc}sc:apy稱ASS.用J隋性氣體離子束轟擊固體表面，並在固定的散射角度上分析散射離子的能量分布得到的能譜。由此可r解表面原子的質、原子數目或化學成分等。