離子刻蝕實驗測試系統

離子刻蝕實驗測試系統是一種用於天文學領域的分析儀器，於2014年5月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：離子刻蝕實驗測試系統
• 產地：英國
• 學科領域：天文學
• 啟用日期：2014年5月29日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

100mm矽片，刻蝕速度2微米/分鐘。

主要功能

該機器可以將矽刻蝕的工藝最佳化。