用單能惰性氣體離子束轟擊試樣表面，當入射的離子從試樣的表面的原子中獲取一個電子而被中和時，能激發出俄歇電子，通過測量該俄歇電子的能譜，分析試樣表面電子狀態、吸附狀態、成分和能帶的電子能譜法。
| 中文名稱 | 離子中和譜法 |
| 英文名稱 | ion neutralizing spectrum |
| 定 義 | 用單能惰性氣體離子束轟擊試樣表面，當入射的離子從試樣的表面的原子中獲取一個電子而被中和時，能激發出俄歇電子，通過測量該俄歇電子的能譜，分析試樣表面電子狀態、吸附狀態、成分和能帶的電子能譜法。 |
| 套用學科 | 機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器分析原理（三級學科） |
基本介紹
- 中文名：離子中和譜法
- 外文名：ion neutralizing spectrum
- 套用學科
- 機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器分析原理（三級學科）
