離位損傷是入射粒子與晶格原子碰撞,傳遞給靶原子的動能超過離位閾能(晶格點陣位置的束縛能)時,原子便可離開晶格位置,稱為離位所造成的損傷稱。一般情況下,中子與重離子輻照會造成級聯碰撞,一個入射粒子輻照會在很小的體積內產生數百個弗侖克爾缺陷對。在一定溫度下,間隙原子和空位可以遷移,從而彼此複合。
輻照長大只有尺寸改變而無體積變化,僅在各向異性顯著的材料中,由於形成位錯環的擇優取向而造成。離位損傷造成的種種微觀缺陷顯然會導致材料力學性能變化,如輻照硬化、脆化以及輻照蠕變等。輻照缺陷還引起增強擴散,並促使一系列由擴散控制或影響的過程加速進行,諸如溶解,沉澱,偏聚等,並往往導致非平衡態的實現。