雜質擴散激活化能是指雜質原子或者母體原子在固體(包括半導體)中擴散的激活能。固體中原子的擴散與溫度有很大的關係，即擴散係數D與溫度T之間存在指數函式關係:D=Do exp(-Ea/kT)，其中Ea就是原子擴散化激活能。隨著溫度的升高，擴散係數急劇增大;擴散化激活能Q越大，擴散係數越小。
由於固體中原子的擴散需要通過空位或者間隙原子這些所謂熱缺陷的產生來實現，所以擴散的激活能在本質上也就是形成熱缺陷所需要的能量。一般，雜質擴散化激活能都比較高，即擴散比較困難，並從而固體中原子的擴散通常需要在較高的溫度下才能進行。
