雙面探針台主要套用於半導體行業、光電行業、積體電路以及封裝的測試。
基本介紹
- 中文名：雙面探針台
- 外型尺寸：70 x 50mm
- X,Y行程：12mm
- 精度：1um
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雙面探針台概念
雙面探針台主要套用於半導體行業（IC和MEMS）以及光電行業的測試。主要使用在電子，機電，化工，材料特性研究所，及光電系所，納米機械，航空電子等，其目的在於保證質量及器件的可造性，並縮減研發時間和器件製造工藝的成本。
雙面探針台分類
雙面探針台從操作上來區分有：手動，半自動，全自動
雙面探針台的結構
探針台本體
* 滾珠螺桿驅動卡盤裝置
* X,Y 行程：150mm(可根據需求選擇其它範圍)
* 精密推拉裝盤裝置
* 手動卡盤360度調整
* 顯微鏡X,Y,Z平台移動行程25mm(可根據需求選擇其它範圍)
2.DC 探針座 Probe Head(可選其它精度或高頻套用探針座)
* 外型尺寸：70 x 50mm
* X,Y行程：12mm
* Z行程：8mm
* 精度：1um
* 仰角調節裝置
* 吸附方式：磁開關吸附（真空吸附可選）
3.高倍率顯微鏡系統(可選其它倍率光學顯微鏡)
* 放大倍率 1X-500X
註：可選更高倍率物鏡，如：100X物鏡，即總倍率1000X
* 光源光纖傳導：1.5m
* 鹵素燈光源：100W或更高
* CCD C-mount國際標準接口
* 物鏡：10X , 20X, 50X，100X
* 雙目頭：瞳距調節範圍55~75mm
* 上主體：分光比為50:50或0:100
* 管鏡：1X NUV/VIS
* 齊焦距離: 95mm;
* 調焦機構：調焦行程: 52mm
* 粗動手輪4mm/轉
* 微動手輪0.1mm/轉
* 微動手輪 1μm/格
* 最大承載重量: 45磅(20.4Kg)
4.CCD 相機
* 包括圖像採集卡等
5.探針夾具及電纜線(根據測試需求可選其它配置)
*Tube Holder/1.5m Triax cable/Triax male
6.探針 Probe Tip(可選項)
* 1 um 探針
7.真空泵
8.禁止箱
9.防振桌
10.適配器
11.轉接頭
12.電學測試設備
