雙雷射微加工機

雙雷射微加工機是一種用於物理學、電子與通信技術、計算機科學技術領域的工藝試驗儀器，於2006年12月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙雷射微加工機
• 產地：英國
• 學科領域：物理學、電子與通信技術、計算機科學技術
• 啟用日期：2006年12月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

157nm和355nm雙雷射器；157nm微加工功率1.5w，頻率100hz，能流密度55/cm2，光斑尺寸0.15*0.15mm； 355nm微加工功率4w，頻率10khz，能流密度105/cm2，光斑尺寸2-300um。

主要功能

加工多種材料，尺寸範圍um級。特別是對二氧化矽、金剛石、碳化矽、氟的聚合物的微小、精密加工。