中文名稱 | 雙蒸發蒸鍍 |
英文名稱 | double source electron beam evaporation |
定 義 | 採用兩個電子束蒸發源,通過控制其各自的蒸發速率,改變兩種蒸氣的沉積速率比的鍍膜方法。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科) |
基本介紹
- 中文名:雙蒸發蒸鍍
- 外文名:double source electron beam evaporation
- 一級學科:材料科學技術
- 二級學科:材料科學技術基礎
- 定 義
- 採用兩個電子束蒸發源,通過控制其各自的蒸發速率,改變兩種蒸氣的沉積速率比的鍍膜方法。
- 套用學科
- 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科)