《集成感測器陣列及模式識別檢測氣體的研究》是依託吉林大學，由戴國瑞擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：集成感測器陣列及模式識別檢測氣體的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：戴國瑞
- 依託單位：吉林大學
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：F0404
- 研究期限：1998-01-01 至 2000-12-31
- 批准號：69776038
- 支持經費：11（萬元）
項目摘要
溶膠－凝膠法製備了新型的敏感薄膜材料V2O5、WO3 H2-X（NH4）xV12-yMoyO31+8·nH2O等，對其結構進行了分析，研究了其材料的氣、濕敏特性。使用了PECVD技術，首先研製出PbTiO3和聚苯胺材料，並發現對H2S的敏感特性。用Cu、Ag、Pd等摻雜劑對SnO2的表面進行修飾，製備了具有優良特性的H2S敏感元件。利用平面工藝技術研製了集成感測器陣列，設計和製作計算機測試系統，初步地實現對氣體的識別。其中探索新型敏感材料以及敏感薄膜的表面修飾及其H2S、NH3薄膜氣體感測器的研究成果達到國際先進水平。在該項目的完成過程中，又申請了一個國際合作項目一複合釩鉬酸鹽為基體薄膜的製備及其物理、化學、氣敏和濕敏特性研究，與俄羅斯建立了科學合作和交流關係。
