陸文琪

陸文琪

陸文琪,男,畢業於東京工業大學,博士,大連理工大學副教授、碩士生導師。

基本介紹

  • 中文名:陸文琪
  • 畢業院校:東京工業大學
  • 學位/學歷:博士
  • 專業方向:物質科學創造
  • 任職院校:大連理工大學
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人物經歷

教育經歷

2002.4--2005.3 東京工業大學物質科學創造博士
1993.9--1996.7 大連理工大學理論物理碩士

工作經歷

1996.7至今 大連理工大學
1991.8--1993.7 石家莊36中教師

研究方向

1. 電漿診斷
2. 薄膜材料

學術成果

論文成果

Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Effects of Hf buffer layer at the Y-doped HfO2/Si interface on ferroelectric characteristics of Y-doped HfO(2 )films formed by reactive sputtering[J],CERAMICS INTERNATIONAL,2018,44(11):12841-12846
Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Structural and electrical properties of reactive magnetron sputtered yttrium-doped HfO2 films[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(4)
Li, Jianquan,Lu, Wenqi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, Younian.Automatic emissive probe apparatus for accurate plasma and vacuum space potential measurements[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,20(2)
徐軍,周大雨,陸文琪.Structrual and Electrical Properties of Reactive Magnetron Sputtered Yttrium-doped HfO2 Films[J],Chinese Physics B,2018,27(4):481031-481036
Li, Jian-Quan,Lu, Wen-Qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-Nian.Automatic emissive probe apparatus for efficient plasma potential measurements[J],REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2017,88(11):115106
李建泉,陸文琪,徐軍.基於虛擬儀器的自動發射探針診斷裝置[A],第十八屆全國電漿科學技術會議,2017,1

發明專利

一種凸凹探針及其電漿診斷方法
數據採集卡的等效採樣方法
一種基於虛擬儀器的朗繆爾探針電漿診斷方法
基片梯度加熱器
射頻電漿探針裝置
一種射頻放電電漿診斷裝置

科研項目

納米塗層電漿製備新技術研發, 企事業單位委託科技項目, 2017/09/18-2020/09/30, 進行
磁控放電電漿探針診斷系統研製, 企事業單位委託科技項目, 2006/12/20-2007/12/21, 完成
ITCP增強磁控發放電電漿探針診斷系統, 企事業單位委託科技項目, 2007/12/05-2008/12/31, 完成
同軸射頻CCP放電電漿探針診斷系統, 企事業單位委託科技項目, 2008/08/25-2009/12/31, 完成
電子束電離電漿探針診斷系統, 企事業單位委託科技項目, 2009/04/20-2010/04/30, 完成
雙頻放電電漿診斷探針系統研製, 企事業單位委託科技項目, 2009/06/05-2009/12/31, 完成

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