《陶瓷-金剛石膜複合材料介電性質的研究》是依託上海大學，由夏義本擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：陶瓷-金剛石膜複合材料介電性質的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：夏義本
- 依託單位：上海大學
- 負責人職稱：教授
- 批准號：19474035
- 研究期限：1995-01-01 至 1997-12-31
- 申請代碼：A2006
- 支持經費：7（萬元）
中文摘要
首先採用微波等離子化學氣相沉積法、熱絲法和氧氣-乙炔火焰在氧化鋁陶瓷基片上澱積出金剛石薄膜，並製備出氧化鋁陶瓷/金剛石膜複合材料。研究了不同方法制膜的成核機理，界面的微觀結構及其與工藝條件的相關性。研究了不同氧化鋁陶瓷基質和不同金剛石薄膜沉積條件對成核密度，晶格結構完整性，薄膜內應力和複合材料的介電性能的影響。採用雷射喇曼散射分析、X衍射分析和掃描電鏡等對所得材料分析，結果表明：沉積膜的純度高、質量好、且成膜緻密。在頻率為1MHz的測試條件下，所得的氧化鋁陶瓷/金剛石膜複合材料的介電係數低於9的預定指標。研究結果分別發表在《物理學報》、《中國物理快報》和《Thin Solid Films》等國內外學術期刊上。
