陣列型大氣壓射流電漿均勻性控制及特性研究

《陣列型大氣壓射流電漿均勻性控制及特性研究》是依託哈爾濱工業大學,由聶秋月擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:陣列型大氣壓射流電漿均勻性控制及特性研究
  • 依託單位:哈爾濱工業大學
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:聶秋月
項目摘要,結題摘要,

項目摘要

陣列型大氣壓冷電漿射流源是獲得大面積射流電漿的重要方式。通過有效調控,提高陣列型大氣壓射流源下游工作區待處理材料表面的電漿均勻性,對推動陣列型大氣壓冷電漿射流源在相關領域的實際套用具有重要意義。本項目基於陣列位形設計,從流場控制及放電激勵方式兩方面入手,通過實驗診斷和數值模擬相結合,系統研究不同變數作用下射流陣列電漿放電的時間演化規律及空間分布特性及其對下游工作區電漿面均勻性的影響;進而分析流場控制及放電激勵方式對下游工作區電漿面均勻性的調控方式、規律、及協同作用機制,提出相應的以工作參數作為輸入變數對均勻性進行有效調控的控制策略,實現對陣列型大氣壓射流源下游工作區電漿面均勻性的有效控制及最佳化。

結題摘要

陣列型大氣壓冷電漿射流源是獲得大面積射流電漿的重要方式。通過有效調控,提高陣列型大氣壓射流源下游工作區待處理材料表面電漿的面均勻性,對推動陣列型大氣壓冷電漿射流源在相關領域的實際套用具有重要意義。本項目從流場控制及放電激勵方式兩方面入手,通過將實驗診斷和數值模擬相結合,系統、深入研究不同工作氣體環境、不同變數作用條件下的射流陣列電漿放電時間演化規律及空間分布特性,解析流場控制及放電激勵方式對下游工作區均勻性調控的作用規律及協同作用機制,提出相應的以工作參數作為輸入變數對均勻性進行有效調控的控制策略。在理論方面,建立了包含電場-溫度場-流場-化學動力學過程多場耦合的射流電漿陣列模型,並在此基礎上開發相應的模擬程式進行精確求解,在實驗研究參數範圍內,模擬研究外施參量對陣列型射流電漿時間演化規律及空間分布的協同作用,分析結構參數和工作參數對下游工作區面均勻性的影響規律,揭示外部控制變數對射流基本單元間耦合特性及工作區電漿面均勻程度的調控機制,建立調製效果和控制參量之間的依賴關係;實驗方面,在已有數值模擬結果指導下,有針對性地改變流場分布形式、放電激勵參數這兩種外部獨立變數及其協同作用,研究了流場控制及放電激勵方式對陣列下游電漿面均勻性調控的作用規律,並提出有效的控制手段。項目開展過程中,發表SCI論文8篇,授權發明專利1項,申請軟體著作權1項,培養研究生4名(兩名博士畢業、一名碩士畢業、一名碩士畢業攻博繼續從事該方向研究)。與項目申請預期成果相符。

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