限流安全切斷閥

限流安全切斷閥是一個高純氣體系統用語，當流量超過設定值時可自動切斷流量。

限流安全切斷閥flaw limit safety shutoff }}al}c，切斷閥通常安裝在氣源出日與減壓器之同。它對流過設定孔的壓力降敏感，當達到設定壓力差限時，閥門關閉。如果將啟動開關打開，使活塞上下壓力平衡，則又重新開始1一作。此類閥的人口壓力1一21MYa, _r作壓差fl . 42M1'a ,穩定性/重複性士log，操作溫度一4d一90T'。適用材料是閥體為31b不鏽鋼，閥座為聚四氟乙烯和氟橡膠，彈簧為不鏽鋼。