固體的擴散行為可由晶格擴散特徵參數“激活能”來表征。通過鋁、銅、銀、鎢、鋰等金屬的微活能與電遷移的激活能相同的實驗事實可確定電遷移在本質上與其他固體質量輸運現象相同。各種擴散現象的區別僅在於導致擴散發生的“驅動力(driv ing force)”不同。在晶體內、晶界上以及晶體表面上發生的電遷移，分別通過晶格擴散、晶界擴散以及晶體表面擴散來完成。快速質量擴散通道包括:(1) 晶界;(2) 內導線與鈍化層的界面;(3) 孔洞表面;(4) 攀移位錯管道(Suo,1994b)。上述快速擴散通道均可能形成長程的質流輸運能力。
界面指兩種材料之間、同種原子組成的兩相之間或同種晶體結構的不同取向晶粒之間的交面。品界是界面現象研究的重要組成部分。晶界的厚度約為0.5~ 1nm,其物理結構錯綜複雜。晶界處的原子激活能較低，給原子的遷移提供了良好的通道。沿晶界的擴散往往決定看多晶薄膜的反應過程。對多晶鋁線，電遷移引起的質量擴散主要沿晶界進行。
