鉻矽電阻薄膜

鉻矽電阻薄膜是指一種常用的高阻薄膜材料。具有電阻率高、穩定性好、電阻溫度係數小等特點。

基本介紹

• 中文名：鉻矽電阻薄膜
• 外文名：chromium-silicon resistance film
• 主成分：鉻和矽
• 特點：電阻率高、穩定性好等
• 一般方阻：3～5kΩ

簡介

鉻矽電阻薄膜是指一種常用的高阻薄膜材料。

特點

其特點是電阻率高、穩定性好、電阻溫度係數較小。

其他

Cr和Si可以生成多種矽化物如Cr3Si , Cr5Si3, , CrSi , CrSi2等，鉻矽電阻薄膜的性能與製備工藝、膜的成分、熱處理工藝等密切相關。

方法

製備方法有:

(1)蒸發法。原料為高純〔99. 99%)鉻粉和矽粉的混合物，配比隨所需阻值而不同，粒度為200目左右；

(2)濺射法採用Cr-Si複合靶；

（3)真空電阻蒸發法。

用途

鉻矽電阻薄膜用於高阻薄膜電阻器。