金屬MBE

金屬MBE是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的科學儀器，於2017年7月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：金屬MBE
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2017年7月31日

技術指標

1、真空度：進樣室＞1*10-8pa，MBE＞1*10-8pa2、manipulate：內外圈加熱器＞900℃，且溫度分布均勻3、蒸發源：對於2個標準K-CELL源CF35接口法蘭工作溫度可到1250℃，溫度波動＜±0.5℃。

主要功能

超高真空沉積高質量金屬薄膜，可用於圖形轉移。