金屬有機化合物原子層外延

金屬有機化合物原子層外延是指以金屬有機化合物為原料生長單原子薄層的外延工藝。

中文名稱	金屬有機化合物原子層外延
英文名稱	metal- organic atomic layer epitaxy
定　　義	以金屬有機化合物為原料生長單原子薄層的外延工藝。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）

套用學科：材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）