醌系重氮型感光樹脂

醌系重氮型感光樹脂quinnne diaaophotographi:- resir. 主要指在芳香胺中氨基鄰位或對位含有經基,經重氮化反應構 成的感光樹脂。最常見的是含有蔡醒重氮鹽結構的酚醛樹脂, 是主要的正性感光樹脂,由於分子內含有鄰位重氮釀結構,吸 收紫外線後發生分解反應,產生碳正離子,接著發生分子內重 排反應,產}鞍}.聚合物由汕溶性轉變成鹼水溶性這種感 光樹脂主要作為正性光刻膠用+印刷製版和光刻工藝。

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