一、實驗室簡介
遼寧省微電子工藝控制重點實驗室是依託渤海大學由遼寧省科技廳2010年8月批准組建的省級重點實驗室。該實驗室建築面積1000多平方米，設備總值1000餘萬元，其中萬元以上儀器設備30餘台。本實驗室以微電子工藝為基礎，以計算機技術、自動控制技術、信息檢測與處理技術、通信技術、電子信息技術等交叉學科為依託，立足微電子工藝過程的套用技術研究，並與基礎研究有機結合，形成一個集科技開發、人才培養、產業化為一體的現代化實驗室。該重點實驗室通過整合凝練出三個研究方向，分別為：微電子工藝建模與仿真、微電子工藝過程與參數最佳化、微電子工藝先進控制策略。
二、主要研究內容
1、 微電子工藝建模與仿真。該研究方向主要研究擴散工藝、離子注入、Sio2掩膜生長、刻蝕、合金工藝等的數據驅動建模方法和計算機仿真系統實現。
2、 微電子工藝過程與參數最佳化。該研究方向主要研究微電子工藝過程最佳化和微電子工藝參數最佳化。力求採用數據挖掘技術、最最佳化方法實施微電子工藝過程與參數最佳化。如為了提高太陽能電池的效率，最佳化其工藝參數。
3、 微電子工藝先進控制策略。該研究方向包括微電子動態工藝控制和計算機視覺線上檢測。在微電子工藝過程中，研究動態先進控制策略，對工藝條件動態實時調整，獲得更好的工藝合格率。研究太陽能電池晶片的線上視覺測量關鍵技術。
三、人員結構及隊伍
本實驗室擁有一支學術梯隊合理、技術水平較高的科研隊伍，實驗室成員學歷和職稱較高，現有博士21人、碩士6人，高級職稱24人，中級職稱5人。遼寧省教學名師1人、遼寧省百千萬人才千人層次1人、遼寧省高校青年骨幹教師1人、渤海大學學術骨幹5人、渤海大學教學骨幹3人。
四、承擔主要科研項目
近五年來在國內外權威學術期刊和重要國際會議上，發表有價值的研究論文200 余篇，被SCI、EI和ISTP檢索100餘篇。承擔科研項目80餘項，其中主持與參與國家自然科學基金10餘項，主持省部級項目40餘項，橫向課題30餘項。獲省部級以上獎勵2項、其它科研獎勵20項。
遼寧省微電子工藝控制重點實驗室是依託渤海大學由遼寧省科技廳2010年8月批准組建的省級重點實驗室。該實驗室建築面積1000多平方米，設備總值1000餘萬元，其中萬元以上儀器設備30餘台。本實驗室以微電子工藝為基礎，以計算機技術、自動控制技術、信息檢測與處理技術、通信技術、電子信息技術等交叉學科為依託，立足微電子工藝過程的套用技術研究，並與基礎研究有機結合，形成一個集科技開發、人才培養、產業化為一體的現代化實驗室。該重點實驗室通過整合凝練出三個研究方向，分別為：微電子工藝建模與仿真、微電子工藝過程與參數最佳化、微電子工藝先進控制策略。
二、主要研究內容
1、 微電子工藝建模與仿真。該研究方向主要研究擴散工藝、離子注入、Sio2掩膜生長、刻蝕、合金工藝等的數據驅動建模方法和計算機仿真系統實現。
2、 微電子工藝過程與參數最佳化。該研究方向主要研究微電子工藝過程最佳化和微電子工藝參數最佳化。力求採用數據挖掘技術、最最佳化方法實施微電子工藝過程與參數最佳化。如為了提高太陽能電池的效率，最佳化其工藝參數。
3、 微電子工藝先進控制策略。該研究方向包括微電子動態工藝控制和計算機視覺線上檢測。在微電子工藝過程中，研究動態先進控制策略，對工藝條件動態實時調整，獲得更好的工藝合格率。研究太陽能電池晶片的線上視覺測量關鍵技術。
三、人員結構及隊伍
本實驗室擁有一支學術梯隊合理、技術水平較高的科研隊伍，實驗室成員學歷和職稱較高，現有博士21人、碩士6人，高級職稱24人，中級職稱5人。遼寧省教學名師1人、遼寧省百千萬人才千人層次1人、遼寧省高校青年骨幹教師1人、渤海大學學術骨幹5人、渤海大學教學骨幹3人。
四、承擔主要科研項目
近五年來在國內外權威學術期刊和重要國際會議上，發表有價值的研究論文200 余篇，被SCI、EI和ISTP檢索100餘篇。承擔科研項目80餘項，其中主持與參與國家自然科學基金10餘項，主持省部級項目40餘項，橫向課題30餘項。獲省部級以上獎勵2項、其它科研獎勵20項。
