過渡版

在掩模版製造工藝中，為了達到一定的精度，需要對原圖進行多次縮小照相才能製作出主掩模，其間所出現的所有掩模版稱之為過渡版。

基本介紹

• 中文名：過渡版
• 外文名：intermediate

例如，採用分步趨才提重複機多次精縮拼接方法製備周期性強的高密度、大尺寸和高精度掩模版時，就會出現比實鑽探烏贈際舟舉掩模版尺寸大1000倍、100倍和10倍的多種過渡版，這些過渡版通常也可以作為分洪請愉步重複機拼接合成高精享墊想鴉度、複雜掩模版的圖形版，相當於圖形拼接合成的圖棗龍腳素。

換言之，過渡版可以作為分步重複機多次精縮拼接圖形用的中間台櫻鞏掩模。