過渡版

在掩模版製造工藝中，為了達到一定的精度，需要對原圖進行多次縮小照相才能製作出主掩模，其間所出現的所有掩模版稱之為過渡版。

基本介紹

• 中文名：過渡版
• 外文名：intermediate

例如，採用分步重複機多次精縮拼接方法製備周期性強的高密度、大尺寸和高精度掩模版時，就會出現比實際掩模版尺寸大1000倍、100倍和10倍的多種過渡版，這些過渡版通常也可以作為分步重複機拼接合成高精度、複雜掩模版的圖形版，相當於圖形拼接合成的圖素。

換言之，過渡版可以作為分步重複機多次精縮拼接圖形用的中間掩模。