過渡版

在掩模版製造工藝中,為了達到一定的精度,需要對原圖進行多次縮小照相才能製作出主掩模,其間所出現的所有掩模版稱之為過渡版。

基本介紹

  • 中文名:過渡版
  • 外文名:intermediate
例如,採用分步重複機多次精縮拼接方法製備周期性強的高密度、大尺寸和高精度掩模版時,就會出現比實際掩模版尺寸大1000倍、100倍和10倍的多種過渡版,這些過渡版通常也可以作為分步重複機拼接合成高精度、複雜掩模版的圖形版,相當於圖形拼接合成的圖素。
換言之,過渡版可以作為分步重複機多次精縮拼接圖形用的中間掩模。

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