輝光放電沉積

輝光放電沉積是2011年公布的材料科學技術名詞。

中文名稱	輝光放電沉積
英文名稱	glow discharge deposition
定　　義	利用電漿分解化合物源，以澱積生長薄膜晶體的技術。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），非晶和微晶半導體材料（三級學科）

基本介紹

• 中文名：輝光放電沉積
• 外文名：glow discharge deposition
• 所屬學科：材料科學技術 
• 公布年度：2011年

定義

利用電漿分解化合物源，以澱積生長薄膜晶體的技術。

出處

《材料科學技術名詞》。