軍用微系統設計與製造

內容簡介

《軍用微系統設計與製造》按照高等學校兵器科學與技術專業的教學要求編寫，強調微系統（MEMS）技術與武器系統的緊密結合，在闡述微系統技術的基礎物理理論、典型微納器件、加工製備工藝和未來發展趨勢的基礎上，重點介紹微系統技術在軍事國防領域的套用。全書共7章，主要內容包括：微系統技術基礎、典型微系統原理、典型微感測器技術、典型微執行器技術、典型微能源技術、微系統加工技術、智慧型MEMS□□引信技術等。《軍用微系統設計與製造》既注重基本原理和必要的理論分析，又力求反映新的科技成果，同時也突出軍事上的實用性。該書是針對高等工科院校兵器科學與技術專業本科生和研究生的專業科技課程而編著的，同時也可以作為其他相關專業學生的輔助教材。

圖書目錄

第1章微系統技術基礎

1．1 微系統的定義和內涵

1．1．1 微系統的定義

1．1．2 微系統的功能及意義

1．1．3 微系統的特點

1．2 國防需求推動微系統發展

1．2．1 微系統的發展歷程

1．2．2 航天領域微系統需求

1．2．3 武器領域微系統需求

1．2．4 機器人領域微系統需求

1．2．5 醫療領域微系統需求

參考文獻

第2章典型微系統原理

2．1 壓阻效應

2．1．1 技術背景

2．1．2 理論描述

2．1．3 典型套用

2．2 壓電效應

2．2．1 技術背景

2．2．2 理論描述

2．2．3 典型套用

2．3 靜電效應

2．3．1 技術背景

2．3．2 理論描述

2．3．3 典型套用

2．4 熱效應

2．4．1 熱應力效應

2．4．2 熱電阻效應

2．4．3 熱電效應

2．5 光電效應

2．5．1 技術背景

2．5．2 理論描述

2．5．3 典型套用

2．6 壓電駐極體效應

2．6．1 技術背景

2．6．2 理論描述

2．6．3 典型套用

參考文獻

第3章典型微感測器技術

3．1 壓力感測器

3．1．1 壓阻式壓力感測器

3．1．2 壓電式壓力感測器

3．1．3 電容式壓力感測器

3．1．4 光纖式壓力感測器

3．2 加速度感測器

3．2．1 電容式加速度感測器

3．2．2 壓阻式加速度感測器

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