《超高頻體模式電容諧振器及其能量損耗機理研究》是依託北京大學，由於曉梅擔任負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：超高頻體模式電容諧振器及其能量損耗機理研究
- 項目負責人：於曉梅
- 項目類別：面上項目
- 依託單位：北京大學
- 批准號：60776055
- 研究期限：2008-01-01 至 2008-12-31
- 申請代碼：F0402
- 支持經費：7（萬元）
- 負責人職稱：教授
項目摘要
MEMS諧振器由於具有低功耗、寬頻帶、體積小、以及能與CMOS工藝兼容等優點，因此人們正逐步採用MEMS諧振器代替傳統的片下、大體積頻率選擇器件，以滿足高性能無線通訊和感測檢測技術的需求。儘管MEM諧振器研究取得了卓有成效的研究成果，但在其發展進程中也遇到了諸多問題，提高MEMS諧振器的動態特性是需要重點解決的。本項目提出開展一種可高頻、高Q值（f＞100MHz，Q＞100000）工作的單晶矽體模式納隙電容諧振器研究。首先，通過系統研究體模式諧振器的能量損耗產生機理和減小能量損耗的方法，建立諧振器的機械和等效電路模型，從器件材料、器件結構、結構參數、固支方式等方面綜合研究諧振器的設計方法。其次，針對納隙電容諧振器的特殊結構，基於HARPSS工藝研究電容極板間隙在亞100nm體模式諧振器的成套製備技術，並解決關鍵製備工藝問題。最後，研究體模式諧振器與IC的單片集成設計技術和集成工藝兼容性。
