超高真空雷射分子束外延系統

超高真空雷射分子束外延系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年11月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空雷射分子束外延系統
• 產地：荷蘭
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年11月21日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

RHEED振漿朽洪盪墊擔。

主要功能

可提供多種氧化物整芝歡嫌企說遙單晶危訂潤薄膜製備，永牛應並實現原位金屬牛滲習元電極沉積。