超高真空多功能團簇束流系統

超高真空多功能團簇束流系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2005年6月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空多功能團簇束流系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2005年6月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

真空度：5×10－6 Pa；濺射功率：1000W。

主要功能

產生團簇束流，線上飛行時間質譜檢測，樣品預處理。