超高真空互聯複合鍍膜系統

超高真空互聯複合鍍膜系統是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2017年11月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空互聯複合鍍膜系統
• 產地：中國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2017年11月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

2個直流濺射源，1個射頻濺射源，1個磁控濺射。

主要功能

能夠進行超高真空四個不同腔室互聯鍍膜。