超音波流量計儀

超音波流量計儀式是一種用於檢測半導體製造裝置內，塗布藥液的流量管理的一種測量儀器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超音波探頭，相互進行收發信號，測定各自傳播時間 ； 順流的超音波會很快到達，相反逆向的超音波則會較晚達到，根據傳播時間算出流速，並通過流速算出流量。