超純氨的分子式是分子式：NH3，超純氨是微電子氮化矽掩蔽膜的主要原材料，其反應為： 750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。雖然NH3在半導體製造用量不大，但在光電子領域、超純氨是十分重要的原材料，NH3的質量好壞直接決定發光二極體（LED）的亮度，它的價格高低左右著LED的經濟性。
基本介紹
- 中文名：超純氨
- 外文名：NH3
物理性質,化學性質,發展歷程,
物理性質
分子式：NH3
A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.（一種無色，有毒，可燃，具腐蝕性的可液化氣體。）沸點-33.4℃。熔點-77.7℃。蒸汽壓888KPa（21.1℃）。比容22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)。最低可燃性含量15%。最高可燃性含量30%。人體的最高容許濃度25ppm。DOT類別2.2(Flammable Gas)(可燃性氣體)。DOT標籤FLAMMABLE GAS(可燃性氣體)。
化學性質
超純氨是微電子氮化矽掩蔽膜的主要原材料，其反應為：750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。雖然NH3在半導體製造用量不大，但在光電子領域、超純氨是十分重要的原材料，NH3的質量好壞直接決定發光二極體（LED）的亮度，它的價格高低左右著LED的經濟性。發光二極體LED是繼愛迪生髮明電燈後，人類又一次照明工業的革命，已開發國家（包括我國台灣省在內）為在此領域獲得更大的主動權，紛紛成立國家照明工作委員會，LED現已產業化生產，台灣生產的LED已大量進入我國市場，為打破專利壟斷，中國成立了照明工作領導辦公室，中國將在2006年全面推廣半導體照明，屆時對NH3的需求將猛增。LED是利用超純氨同三甲基鎵（被稱為MO源）反應，生成GaN半導體的，其反應為650℃Ga(CH3)3+NH3 ，GaN+CH4N2 已開發國家光電子發展速猛，處於成熟期，因此，極大推動氣體公司對氨提高純度的研究，AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3純度達到6.4N，被稱為“Blue Ammonia”。它是採用工業氨經吸附——精餾——深度化學淨化等聯合工藝，對氨進行淨化。亞洲的日本昭合電工株式會社，有電子級氨對外出售，目前，我國許多LED生產用戶所用的進口氨，基本上是普萊克斯、APCI和日本昭合電工。
發展歷程
我國對氨淨化、分析等的研究起步於80年代，當時為滿足我國微電子工業的需要，光明化工研究設計院、北京氧氣廠先後開展了電子級高純氨的研究與生產，生產的產品滿足了當時我國電子工業對氨的急需，進入2000年光明院又承擔了國家十五“863”“超純氨的研究與產業化生產”課題，在國家資金的資助下，經過系列的研究，克服了氨淨化過程中的“馬蹄型”效益，在原有的基礎上，對氨淨化技術，大規模生產技術，產品包裝技術等諸多方面有突破性進展，現有100kg超純氨包裝容器20多支，往返生產與用戶之間，整個生產線實現了自動化，產量達到500t/a，生產的產品三年來一直套用於LED生產線，是目前國內唯一真正用於LED大規模實用化生產流水線的氨生產廠，預計在今年年底，隨著用戶對MOCVD設備的再次擴大，國產氨用量將大規模攀升。
