《超精工具機高速線上雷射測量的互動干涉技術》是依託天津大學，由房豐洲擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：超精工具機高速線上雷射測量的互動干涉技術
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：房豐洲
- 依託單位：天津大學
- 批准號：59605018
- 申請代碼：E0509
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1997-01-01 至 1999-12-31
- 支持經費：11（萬元）
項目摘要
通過對聲光調製技術和可調大頻差以頻雷射的研究，研製出將雷射管、調製器件和稜鏡集成於一體的雷射頭，從而突破由賽曼分裂所得頻差不宜太大的極限，獲得了提高測量速度的途徑。以相位共軛波技術補償由超聲東擊西波造成的雷射波形畸變。通過研究雷射干涉測量中測量光路與校準光路的互動干涉技術，新型空氣折射率的測量與補償方法，雷射干涉中的非線性誤差等，進一步提高了雷射干涉的測量精度。從而研製出一種超精密工具機高速超精密的線上測量系統。以全新思路解決測量中的問題，使其在測速、測量精度、成本等方面均有較大的突破，為超精密工具機的研製奠定基礎。並可用於光刻機、坐標測量機及精密工具機的精密工具機的精密校準和精密位移的測量。
